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密封环材料碳化硅

密封环材料碳化硅

  • 所属分类:硬质合金
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  • 发布日期:2021-08-21 18:02:16
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

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其使用寿命是氧化铝陶瓷的3-5倍,与硬质合金相当,主要用于替代硬质合金,尤其是在手持式喷枪工况下。SIC-2型碳化硅陶瓷韧性好,适用于喷砂受冲击振动工况。研磨盘是制造半导体行业超大规模集成电路用硅片的重要工艺设备。常用的铸铁或碳钢研磨盘使用寿命低,热膨胀系数大。硅晶片,尤其是高速研磨、抛光时,由于研磨盘的磨损和热变形,使得碳化硅密封件销售厂家硅片平面度的和平线行度难以保证。

利用碳化硅陶瓷制成的研磨盘,因其硬度高,磨盘磨损小,热膨胀系数基本上与硅片相同,可高速研磨、抛光。尤其是近年来硅片的尺寸不断增大,对硅片的研磨质量和研磨效率提出了更高的要求。碳化硅密封件出厂价格采用碳化硅陶瓷研磨盘,可大大提高硅片的研磨质量和效率。与此同时,碳化硅陶瓷研磨盘也可以用于研磨、抛光其他材料片状或块状物体的平面。


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