密封环材料碳化硅

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其使用寿命是氧化铝陶瓷的3-5倍，与硬质合金相当，主要用于替代硬质合金，尤其是在手持式喷枪工况下。SIC-2型碳化硅陶瓷韧性好，适用于喷砂受冲击振动工况。研磨盘是制造半导体行业超大规模集成电路用硅片的重要工艺设备。常用的铸铁或碳钢研磨盘使用寿命低，热膨胀系数大。硅晶片，尤其是高速研磨、抛光时，由于研磨盘的磨损和热变形，使得碳化硅密封件销售厂家硅片平面度的和平线行度难以保证。

利用碳化硅陶瓷制成的研磨盘，因其硬度高，磨盘磨损小，热膨胀系数基本上与硅片相同，可高速研磨、抛光。尤其是近年来硅片的尺寸不断增大，对硅片的研磨质量和研磨效率提出了更高的要求。碳化硅密封件出厂价格采用碳化硅陶瓷研磨盘，可大大提高硅片的研磨质量和效率。与此同时，碳化硅陶瓷研磨盘也可以用于研磨、抛光其他材料片状或块状物体的平面。