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集成电路用硅片的碳化硅密封件重要工艺设备

2021-08-19 10:42:36

研磨盘是制造半导体行业超大规模集成电路用硅片的重要工艺设备。常用的铸铁或碳钢研磨盘使用寿命低,热膨胀系数大。硅晶片,尤其是高速研磨、抛光时,由于研磨盘的磨损和热变形,使得硅片平面度的和平线行度难以保证。利用碳化硅陶瓷制成的研磨盘,因其硬度高,磨盘磨损小,热膨胀系数基本上与硅片相同,可高速研磨、抛光。尤其是碳化硅密封件厂家销售近年来硅片的尺寸不断增大,对硅片的研磨质量和研磨效率提出了更高的要求。采用碳化硅陶瓷研磨盘,可大大提高硅片的研磨质量和效率。

与此同时,碳化硅陶瓷研磨盘也可以用于研磨、抛光其他材料片状或块状物体的平面。随着工业的发展,尤其是ISO14000国际标准的实施,磁力泵件对环境保护液体的输送提出了更高的要求。由于采用静密封取代机械密封、填料密封等动密封,磁力泵的泄漏小,可靠性高,使用寿命长。对磁力泵一般要求的免维修期为八年,即要求连续运转八年不能拆卸,因此碳化硅密封件生产供应对磁力泵件的材料选择要求极其严格。

例如泵轴、止推板、轴套等,必须耐磨损、耐腐蚀。现有能满足以上条件的材料只适合碳化硅陶瓷。高耐腐蚀元件碳化硅陶瓷最重要的特性之一是其高温强度,即在1600°C时,其强度基本不下降,机械密封硬质合金加工抗氧化性很好,因此可以用于高温结构件。

集成电路用硅片的碳化硅密封件重要工艺设备

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